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半导体检测显微镜

2011-10-22 14:42:24 5412

BDT-88 系列高倍大平台半导体检测显微镜适用于大物体表面上的特定范围内微小目标的观察研究和分析。本仪器配置配置大移动范围的机械式载物台、落射照明器、长距平场消色差物镜、大视野目镜，图像清晰、衬度好，同时还配有内置偏光观察装置。本仪器可用于鉴别和分析各种金属、合金材料、非金属物质的组织结构，广泛应用于电子、化工和仪器仪表行业观察不透明的物质。如金属材料，太阳能板、多晶硅、单晶硅、封装测试、集成电路、电子芯片、电路板、大液晶板及其它非金属材料，对一些表面状况进行研究分析的工作等。本仪器系大专院校，精密工程学，科研机构，工厂等的理想仪器。

仪器性能特点：

BDT-88V/BDT-88C电脑（数码）系列高倍大工作台半导体检测显微镜系统是通过光电转换与计算机，数码相机以及电视机等设备结合在一起，不仅可以在目镜上观察，还能在显示屏幕上观察实时动态图像，还可在计算机，数码相机上将所需要的图片进行编辑、保存和打印。

配置大视野目镜和长距平场消色差物镜，视场大而清晰。

配置大移动范围的载物台，能快速和慢速移动。

粗微动同轴调焦机构，粗动松紧可调，带限位锁紧装置，微动格值:2μm。

6V 20W卤素灯,亮度可调。

三目镜筒,可自由切换正常观察，可进行100%透光摄影

特有的防霉系统

技术参数：

平场目镜	放大倍数(X)		视场(mm)
	10X		Φ18
	20X		Φ10
	分划10X（格值0.1mm）		Φ18
平场消色差物镜	放大倍数（X）	数值孔径（NA）		工作距离（mm）
	5X	0.12		18.3
	10X	0.25		8.9
	20X	0.40		8.7
	40X	0.60		3.7
	50X	0.70		2.02
	80X	0.80		0.96
光学放大倍数	50X 100X 200X 400X 500X 800X 1000X 1600X
系统参考放大倍数	50X-3000X
目镜筒	三目镜, 瞳距调节范围：53-75mm
照明系统	落射照明器，6V/20W卤素灯，220V（50Hz）亮度可调具
偏光装置	三目头内置检偏振，可插入式起偏振片,垂直照明装置，
调焦机构	粗微动同轴调焦,粗动松紧可调,带锁紧和限位装置微动格值:0.002mm。
转换器	五孔外向式滚珠内定位
滤色片组	黄色、蓝色、绿色、磨砂玻璃
载物台移动范围	X方向：154mm ； Y方向154mm