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h1654155799.0857
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    光刻胶残留要怎么解决？
    h1654155799.0857
    这是我的版图一部分，然后生成了图案是这样的： 感觉间距小的地方全都有残留，间距大的地方没有残留； 工艺参数：s9920光刻胶， evg 620‘ 未进行蒸汽底漆层涂覆，前烘：100摄氏度，90s ； 曝光50s，曝光后烘烤10 ...
    来源：半导体技术天地
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