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  • 关注了版块 2024-8-9 23:11

    LabVIEW论坛

    109221 人关注
  • 赞同了文章 2024-6-15 21:59

    退火工艺（Thermal Annealing）介绍
    通常，退火工艺是与其他工艺（如离子注入、薄膜沉积、金属硅化物的形成等）结合在一起的，最常见的就是离子注入后的热退火。离子注入会撞击衬底原子，使其脱离原本的晶格结构，而对衬底晶格造成损伤。...
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