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刘博康

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半导体制造之外延工艺详解 2023-02-13 14:35

外延工艺是指在衬底上生长完全排列有序的单晶体层的工艺。一般来讲，外延工艺是在单晶衬底上生长一层与原衬底相同晶格取向的晶体层。外延工艺广泛用于半导体制造，如集成电路工业的外延硅片。MOS 晶体管的嵌入式源漏外延生长，LED衬底上的外延生长等。根据生长源物相狀态的不同，外延生长方式可以分为固相外延、液相外延、气相外延。在集成电路制造中，常用的外延方式是固相外延和气相外延。

jt_rfid5

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氮化镓外延片工艺介绍氮化镓外延片的应用 2023-02-05 14:50

氮化镓外延片生长工艺较为复杂，多采用两步生长法，需经过高温烘烤、缓冲层生长、重结晶、退火处理等流程。两步生长法通过控制温度，以防止氮化镓外延片因晶格失配或应力而产生翘曲，为目前全球氮化镓外延片主流制备方法。

香香技术员

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LED凉凉，MOCVD厂商的出路在何方？ 2020-03-09 10:38

多家半导体设备厂商正在开发或增加新型金属有机化学气相沉积（MOCVD）技术，期望在MOCVD应用的下一波热潮到来前做好充足准备。

西西

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X射线能谱仪(EDS)的详细介绍 2021-09-18 10:57

EDS能谱仪，是一种分析物质元素的仪器，常与扫描电镜或者透射电镜联用，在真空室下用电子束轰击样品表面，激发物质发射出特征x射线，根据特征x射线的波长，定性与半定量分析元素周期表中B-U的元素，EDS可提供样品表面之微区定性或半定量之成份元素分析，以及特定区域之point、line scan、mapping分析。

金鉴实验室

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【寻材问料】超逼真20张动图，秒懂四大电镜原理（SEM, TEM, AFM, STM）！ 2018-11-22 16:24

寻材问料

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扫描电镜和能谱仪在解决摩擦磨损实际问题中的应用 2021-12-22 16:54

在油品分析或摩擦学实验室的工作可能存在挑战。技术挑战一般包括选择正确的工具，以及时和经济的方式完成有效的分析工作。一种兼具发射光谱和高性能显微镜功能的并非新鲜的仪器工具正在进入油品分析或摩擦学实验室。这个工具就是扫描电镜和能谱仪（SEM-EDS），使得快速解决困难问题的分析成为可能，并且有效、及时和经济。 SEM-EDS成为终极解决工具理由如下：沉积物和摩屑分析颗粒形貌尺寸和特征分析失效分析污染物分析冶金学

金鉴实验室

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