SIDE VIEW Typical Assembly Process Flow FOL– Front of Line前段工艺 FOL– Front of Line Wafer 【Wafer】晶圆 FOL– Back Grinding背面减薄 将从晶圆厂出来的Wafer进行背面研磨,来减薄晶圆达到 封装需要的厚度(5mils~10mils); 磨片时,需要在正面(Active Area)贴胶带保护电路区域 同时研磨背面。研磨之后,去除胶带,测量厚度; FOL– Wafer Saw晶圆切割 目的: 将晶圆粘贴在蓝膜(Tape)上,使得即使被切割开后,不会散落; 通过Saw Blade将整片Wafer切割成一个个独立