什么是VCSEL? VCSEL(Vertical-cavity surface-emitting laser),即垂直腔面发射激光器,是集高输出功率和高转换效率和高质量光束等优点于一身,相比于LED 和边发射激光器EEL,在精确度、小型化、低功耗、可靠性等角度全方面占优。 VCSEL的结构与原理 VCSEL 器件有两种基本结构,一种是顶发射结构:采用MOCVD 技术在n 型GaAs 衬底上生长而成,以DBR 作为激光腔镜,量子阱有源区夹在n-DBR 和p-DBR 之间。另一种是底发射结构,一般用于产生976-1064nm 波段,通常将衬底减薄到