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  • 发布了文章 2022-6-2 15:03
    具有13.5nm波长源的高数值孔径系统将提高亚13nm半间距曝光所需的分辨率,以及更大的图像对比度以实现更好的印刷线均匀性。High-NA EUV光刻的分辨率通常被称为“13nm到8nm半间距”。...
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  • 发布了文章 2022-4-26 14:21
    磁性随机存储器(MRAM)是一种基于自旋电子学的新型信息存储器件,其核心结构由一个磁性隧道结和一个访问晶体管构成。MTJ 呈现“三明治”结构,两层磁性固定层和自由层之间夹着一层隧穿层。...
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  • 发布了文章 2022-4-26 11:09
    在物理性能方面,AIN比碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)具有更小的损耗和更高的耐压,因此可以形成高压高效的电源电路。AlN具有6.0eV的“带隙”,即导带和价带之间的能量差,与硅(Si)的1.1eV、SiC的3.26eV和GaN的3.4e...
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