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  • 发布了文章 前天 14:21
    ‍‍‍‍在半导体集成电路(IC)制造过程中,铝(Aluminum)是广泛使用的一种金属材料,特别是在金属互连层(metal interconnect)和芯片外部连接的工艺中。铝的应用不仅仅是简单的物理镀膜,而是通过一种特殊的技术——金属溅射...
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  • 发布了文章 前天 14:17
    本文介绍SiGe外延工艺及其在外延生长、应变硅应用以及GAA结构中的作用。   在现代半导体技术中,随着器件尺寸的不断缩小,传统的硅基材料逐渐难以满足高性能和低功耗的需求。SiGe(硅锗)作为一种复合材料,因其独特的物理和电学特性,在半导体...
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  • 发布了文章 前天 14:15
    ‍‍‍‍‍ ALE,英文名Atomic Layer Etching,中文名原子层刻蚀。是和ALD相对的,均是自限性反应,一个是沉积一个是刻蚀。ALD是每个循环只沉积一层原子,ALE是每个循环只刻蚀一层原子。       ALE的刻蚀原理‍ ...
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  • 发布了文章 前天 10:24
        本文主要介绍精密玻璃成型和精密模压光学。 高端手机的镜头除了有塑料镜片外,也加入玻璃镜片。手机用的玻璃镜片和和塑料镜片一样,都是用模具制造的。(机械研磨抛光的方式无论是效率还是成本都满足不了手机镜片需求。) Precision gl...
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  • 发布了文章 前天 10:20
    本文主要介绍‍‍‍‍‍‍自蔓延法合成碳化硅的关键控制点。   ‍‍‍‍ 合成温度:调控晶型、纯度与粒径的关键因素 在改进的自蔓延合成法中,温度起着决定性的作用。不同的反应温度,能够精准地控制 SiC 粉体的晶型。当温度处于 1800℃和 1...
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  • 发布了文章 3 天前
    ‍‍‍‍ 聚焦离子束(FIB)在材料表征方面有着广泛的应用,包括透射电镜(TEM)样品的制备。在这方面,FIB比传统的氩离子束研磨具有许多优势。例如,电子透明区域可以高精度定位,研磨时间更短,并且可以轻松制备平整、两侧平行的样品。然而,使用...
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  • 发布了文章 3 天前
    CH201是一款微型、超低功率、远程超声飞行时间(TOF)距离传感器。CH201基于Chirps专利MEMS技术,是一款集成了PMUT(压电微机械超声波起重机)和超低功率Soc(片上系统)的封装系统,可回流封装Soc运行Chirp先进的超声...
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  • 发布了文章 3 天前
    ‍‍‍‍ 埃(Å)作为一个长度单位,在集成电路制造中无处不在。从材料厚度的精确控制到器件尺寸的微缩优化,埃级尺度的理解和应用是确保半导体技术不断发展的核心。   什么是埃(Angstrom)‍ 埃(符号:Å)是一种非常小的长度单位,主要用于...
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  • 发布了文章 4 天前
      本文介绍了射频电源的功率与频率对刻蚀结果的影响。 干法刻蚀中,射频电源的功率与频率对刻蚀结果都有哪些影响? 什么是RF的功率与频率? RF功率(RF Power),是指射频电源提供给等离子体系统的能量大小,用于等离子体的产生和稳定,通常...
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  • 发布了文章 4 天前
    本文简单介绍了共封装光学器件的现状与挑战。   1、Device fabrication/设备制造。需要为CPO开发先进的制造工艺和器件结构。以3D集成CPO的形式,硅光子芯片充当插入器,以实现更短的迹线和更低的功耗。此外,标准硅光子制造技...
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  • 发布了文章 4 天前
    芯片的设计概念从SoC到SoIC再到CIC,本文介绍了这三者的区别。   SoC(System on Chip)片上系统,SoIC(System on Integrated Chip)集成片上系统,CIC(Cubic Integrated ...
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  • 发布了文章 4 天前
    简单介绍光纤端面3D干涉仪的单色光移相干涉测量法。 现在一般光纤端面3D干涉仪操作界面上,都有白光和单色光(比如红光或其他颜色)的两个选项。   白光干涉就是WLI(White Light Interferometry),单色光就是PSI(...
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  • 发布了文章 4 天前
    简单介绍FIB机台的内部结构。   首先,让我们看一下FIB机台的外观图 接下来,我们将FIB从中线剖开,是下图这个样子: 什么是双束聚焦离子束显微镜? 即同时具有电子束与离子束。 离子束(FIB)用于切割,电子束(SEM)用于拍照,这样就...
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  • 发布了文章 5 天前
    本文介绍了腔室压力对刻蚀的影响。   腔室压力是如何调节的?对刻蚀的结果有什么影响?   什么是腔室压力? 腔室压力是指在刻蚀设备的工艺腔室内的气体压力,通常以托(Torr)或帕斯卡(Pa)为单位。 腔室压力由什么决定的? 1,气体流量越高...
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  • 发布了文章 5 天前
    本文介绍了动态随机存取器DRAM的基本结构与工作原理,以及其在器件缩小过程中面临的挑战。 DRAM的历史背景与发展 动态随机存取器(Dynamic Random Access Memory,简称DRAM)是计算机系统中用于短期数据存储的一种...
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