传感技术
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李红

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[问答]

MEMS传感器计量测试不准确是什么原因呢?

手上有一套振动测试台,上面的标准传感器是2g的晶体压电传感器,经过了测试计量院的计量。
      产品上用的的ADXL326传感器,在印制板上很靠近安装孔,印制板组件安装在金属基板上,金属基板再安装到金属盒子里面,金属盒子再通过了一个金属转接板固定到了测振台的振子上,标准传感器也固定在振子上的。
      测振台施加峰峰值为2个g的正弦振动信号,频率为10Hz,ADXL326测量出来只有峰峰值为0.4g的加速度
      ADXL326电容限制带宽为50Hz,直流耦合进处理器的AD输入端口,处理器采样率为100Hz,滤除掉了重力零偏。
      用示波器查看波形,峰峰值只有20mV,和产品测出来的一致。
      这是什么原因呢?
      静态情况下,ADXL326输出的电压值在手册的范围内。

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