透射电子显微镜(TEM)可用于观察样品的微观形貌、可进行样品的晶体结构分析、可进行纳米尺度的微区或晶粒的成分分析,其广泛应用于材料、物理、化学、生物、电子等领域。公司专注于芯片、激光器件等半导体材料的检测与服务,其具体功能如下: 透射电镜样品制备是TEM分析技术的关键一环,特别是制备半导体芯片样品 ,由于电子束的穿透力很弱,因此用于TEM的样品必须制备成厚度小于100nm的薄片。通常会用到聚焦离子束 FIB制样,我司目前拥有三台聚焦离子束FIB可用于芯片TEM样品制备。
FIB制备芯片透射样品过程