芯片测试与失效分析
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电子迁移试验方法 (EM Test)

随着半导体制程微缩能力的演进,芯片逻辑闸密度(Gate Count Density)不断提升,因此晶圆制程后段的金属导线(Interconnects)也不断增加层数且复杂化;而铝/铜等金属导线,其单位截面积在足够大的电流密度下,长时间工作将恐造成金属导线本身阻值劣化,及导线与导线间的绝缘层间的漏电。 iST宜特检测可以藉高温与高定电流密度等加速老化实验,推导出产品Interconnects的故障机率与生命周期;或是藉由设计不同的高温、高定电流实验批次,经由Black’s 函数, 推导出电流密度参数(n)与温度参数(Ea)。

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