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jf_65427320

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气体质量流量控制器在半导体行业中的应用优势 2023-10-16 15:53

半导体生产过程中的某些工艺涉及气体与半导体基片的反应，比如沉积工艺和刻蚀工艺，气体的流量将对工艺结果产生重要影响。为了使生产的半导体获得较高的良品率，必须对流入反应腔室的气体流量进行精确控制，尤其是随着半导体工艺集成度的不断提高，对气体流量的误差要求也进一步提高。质量流量控制器MFC，是一种用于对气体流量进行精确测量和控制的器件，其不但具有质量流量计的功能，更重要的是能自动控制气体流量，即用户可根据需要

vogreat

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