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  • 发布了文章 2022-3-28 15:14

    半导体工艺之PVA刷擦洗 聚VA刷摩擦分析
    引言 本文简要综述了所提出的清洗机制。然后介绍了聚VA刷摩擦分析结果。在摩擦分析中，刷的粘弹性行为、平板的表面润湿性以及刷的变形是重要的。此外，我们还介绍了PVA电刷和接触面之间真实接触面积的可视化结果。在半导体器件制造过程中，这次的专题“...
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