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SITRI
上海市 嘉定区 测试测量
  • STI3000动态晶圆级测试系统采用STI的专利技术(DST),通过一个驱动电压在晶圆上驱动MEMS移动,从而测量由此产生的相关各种特性,是目前全世界最先进有效的晶圆级MEMS测试系统。
    黄汉华
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