有什么模块或系统可以实现频率的自动跟踪？

要实现对MEMS压电谐振器的自动频率跟踪，可以考虑以下几种方法：

1. **软件锁相环（PLL）**：虽然你提到基于PLL的闭环电路不能自动跟踪谐振器的谐振频率变化，但可能需要重新评估你的PLL设计。软件锁相环可以实现更灵活的参数调整，以适应谐振频率的变化。

2. **频率调制解调器（FM Demodulator）**：使用FM解调器可以检测信号的频率变化。将谐振器的输出信号进行FM调制，然后通过解调器检测频率变化。

3. **频率合成器**：使用一个可编程的频率合成器，可以根据检测到的频率变化自动调整输出频率，以保持与谐振器的谐振频率同步。

4. **自适应滤波器**：自适应滤波器可以根据输入信号的特性自动调整其参数，以实现对信号的最优处理。在这种情况下，滤波器可以自动调整其截止频率，以跟踪谐振器的谐振频率。

5. **机器学习算法**：使用机器学习算法，如神经网络，可以训练模型以识别谐振频率的变化，并预测未来的频率变化。这种方法可能需要大量的数据来训练模型，但一旦训练完成，它可以非常有效地跟踪频率变化。

6. **卡尔曼滤波器**：卡尔曼滤波器是一种递归的估计算法，它可以在有噪声的情况下估计系统的状态。在这种情况下，它可以用于估计谐振器的谐振频率，并在频率变化时自动更新其估计。

7. **数字信号处理（DSP）**：使用数字信号处理技术，如快速傅里叶变换（FFT）或小波变换，可以分析谐振器的输出信号，并检测频率变化。

8. **微控制器或FPGA**：使用微控制器或FPGA可以实现自定义的算法来跟踪谐振频率的变化。这些硬件平台提供了足够的灵活性和处理能力，以实现复杂的信号处理任务。

在选择适合的方法时，需要考虑系统的成本、复杂性、实时性和精度要求。可能需要结合多种方法来实现最佳的性能。