扩散器专用过滤器

・半导体（液晶）的部分生产过程（CVD、PVD、ETCH、离子注入）需要在真空状态下进行，在进入后道工序前，要从真空状态恢复到大气压下，进行这一步骤的地方叫做LOADLOCK（真空进样室）。
・高速扩散器专用过滤器可以在由真空恢复到大气压的这一过程中，减少半导体表面的异物附着。