测试测量技术
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罗健

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激光干涉仪都能测什么

sj6000激光干涉仪以干涉技术为核心,其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热影响,保证干涉光路稳定可靠。


sj6000激光干涉仪常用于数控机床精度检测和补偿,具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点,其中,线性镜组为标配,由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析,以及反向间隙修正和螺距补偿。


测量机床直线度



测量机床偏摆角度



产品功能
可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;
可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;
可实现对机床回转轴的测量与校准;
可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;
具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;
支持手动或自动进行环境补偿。

与传统的检定方法相比,sj6000激光干涉仪具有较高的精度和效率,并能及时处理数据,为机床误差修正提供依据。与不同光学附件结合,还可以测量距离、直线度、垂直度平行度、平面度。由于仪器为模块化结构,安装位置灵活,便于分析机床误差来源;而且测量时可以在工作部件运动过程中自动采集数据,更接近机床的实际使用状态。

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