最近遇到工艺中需要在contact 脚上增加opc层,尝试了两种方法,大家供大家交流参考。
方法1:使用脚本
在CIW中load “create_opc.il” 然后在版图窗口中选中需要增加OPC的图形(可多选),然后按F9就可以了。
只需要修改create_opc.il中红圈中的三个参数 deltaA deltaB 的数值,以及需要的layer层到自己需要的参数即可。
方法2:利用calibre DRC验证文件进行产生OPC 在DRC规则中添加图中规则(可根据需要进行适当的修改),calibre需要先生产GDS文件,然后再streamin到自己版图。
给大家个参考手册,calibre使用的运算命令基本都在这里面了,在第四章查看就行,自己查找使用就可以了。
103是输出的GDS层号,自己可以根据需要修改。
最近遇到工艺中需要在contact 脚上增加opc层,尝试了两种方法,大家供大家交流参考。
方法1:使用脚本
在CIW中load “create_opc.il” 然后在版图窗口中选中需要增加OPC的图形(可多选),然后按F9就可以了。
只需要修改create_opc.il中红圈中的三个参数 deltaA deltaB 的数值,以及需要的layer层到自己需要的参数即可。
方法2:利用calibre DRC验证文件进行产生OPC 在DRC规则中添加图中规则(可根据需要进行适当的修改),calibre需要先生产GDS文件,然后再streamin到自己版图。
给大家个参考手册,calibre使用的运算命令基本都在这里面了,在第四章查看就行,自己查找使用就可以了。
103是输出的GDS层号,自己可以根据需要修改。
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