半导体电阻率测试方案解析

　　四探针法测量半导体电阻率测试方案，使用美国吉时利公司开发的高精度源测量单元（SMU），既可以在输出电流时测试电压，也可以在输出电压时测试电流。输出电流范围从皮安级到安培级可控，测量电压分辨率高达微伏级。支持四线开尔文模式，因此适用于四探针测试，可以简化测试连接，得到准确的测试结果。
　　

　　方案特点
　　●系统提供上位机软件，内置电阻率计算公式，符合国标硅单晶电阻率测试标准，测试结束后直接从电脑端读取计算结果，方便后续数据的处理分析。
　　●提供正向 / 反向电流换向测试，可以通过电流换向
　　消除热电势误差影响，提高测量精度值
　　●四探针头采用碳化钨材质，间距 1 毫米，探针位置精确稳定。采用悬臂式结构，探针具有压力行程。针对不同材料的待测件，提供多种不同间距，不同针尖直径的针头选项
　　●探针台具备粗 / 细两级高度调整，细微调整时，高度分辨率高达 2 微米，精密控制探针头与被测物之间的距离，防止针头对被测物的损害
　　●载物盘表面采用绝缘特氟龙图层，降低漏电流造成的测试误差

　　软件功能
　　● 输出电流并测试电压，电阻，电阻率，电导率，薄层电阻等，记录数据，并根据测试结果绘制曲线
　　●软件在 Windows 7/8/10 平台下使用，测试方法符
　　合 GB/T 1551/1552 等国家测试标准
　　●提供多种修正参数帮助提高电阻率测试精度
　　●配合吉时利 2450/2460/2461 高精度源表使用，确保测试精度和一致性
　　

系统结构：
　　●系统主要由吉时利源表（SMU）、四探针台和上位机软件组成。四探针可以通过前面板香蕉头或后面板排线接口连接到源表上。