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厂商SMI压力传感器的类型

  在产品推广过程中,面对做为应用方的用户,很多对压力传感器的参数理解都是一知半解,从而会导致在产品选型过程中出现一些不必有的失误。这系列文章基于坐落在美国硅谷专注于压力传感器的厂商SMI的产品。但事实上,很多理论或概念同样适用于其他同类产品,例如TE的压力传感器,或者Melexis的压力传感器,大同小异。
  本篇我们先来认识压力传感器的类型。通常来说,压力传感器分为表压,绝压,差压或者相对压传感器。
  绝对压力传感器,简称绝压。
  通常,绝压传感器又分为正面受压和背面受压两种类型,正面受压示意图如图1:顶部进气空压力施加于感测面,差分压力变化是正向的,即压力越大输出电压越大。
  
  图1:正面受压绝对压力传感器
  
  图2:背面受压的绝对压力传感器
  背面受压示意图如图2:底部进气空压力施加于感测面,差分压力变化是正向的,即压力越大输出电压越大。两种压力传感器的参考压力Pref都是真空,所以测量结果是绝对压力值,故称之为绝对压力传感器。背面受压类型的绝对压力传感器在受压面通常做了金属化,气体媒介仅能接触到底面做了金属化的膜片,更敏感的膜片在顶部受到保护,这类压力传感器可靠性更高,更适合应用于严苛环境,如汽车应用。
  表压传感器
  示意图如图3,顶部进气气体压力施加到膜片上,同样使得输出差分电压发生正向变化,但是有一个要求,即Ptop要大于等于Pbottom,而Pbottom即是环境中的大气压力。这类气体压力传感器适合于对测量结果需要对当地大气压进行校准的应用。
  
  图3:表压传感器
  差压或相对压力传感器
  如图4,这种压力传感器通常有两个进气管,当Ptop大于Pbottom,输出电压变化是正向的,而当Pbottom大于Ptop则输出电压变化是负向的。这类传感器可以用来测两个通道的压力差,多用于流量测量应用。
  
  图4:差压或相对压力传感器

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