在技术应用中测量倾斜度，加速度和振动需要高精度的惯性传感器：MEMS（微型机电系统）系列传感器采用单晶硅传感器
元件，融合最先进的微机械加工技术。不同的微机械加工技术用于生产，每种技术都有不同的优势。FIRST SENSOR为MEMS生产开发了新的微机械加工技术，并推出了惯性传感器，该惯性传感器在创新产品系列中结合了其他传感器的优势。凭借卓越的性能特征、惊人的性价比，在地球工程，状态监测，导航和机器人技术领域得到了广泛的应用。
MEMS –微型机电系统：高精度加速度计可以做什么？
微型微机电系统（MEMS）传感器现在可以测量所有三维空间的加速度。MEMS惯性传感器已经被证明是非常稳定、可靠的和快速的。这些最先进的产品还具有极高的温度稳定性。它们甚至能够检测极其微小的倾角或加速度变化。下图片显示了其极高的分辨率：即使一根直径为100 µm的头发使10米长的木板弯曲的角度也能被检测到。这对应于仅0.0005°（2弧秒或10 µm / M）的偏转。
图1 检测示意图
数字化的未来
MEMS传感器技术是物联网的一项关键技术。随着数字化的发展，微型的加速度计和倾角仪也将继续发展。例如，将来，惯性传感器将被进行智能编程，并将具有微控制器，微型电池或微型无线电芯片以在线发送其测量数据。
微型格式，微型生产成本，微型运营成本：电容式惯性传感器的技术概念
MEMS惯性传感器用于电容性测量倾角、加速度和振动，依赖于最先进的微机械制造工艺和一个微型硅传感器：一个弹簧质量系统即只有几微米宽的硅网结构。在加速过程中，悬在弹簧上的质量会发生偏转，从而使测量容量发生变化。ASIC读取容量变化并传输其测量值。在传感器的生产过程中，质量和弹簧（记住，这些结构通常只有千分之一毫米厚）被蚀刻在硅上，其可以大量生产MEMS，同时也消耗更少的能量。
图2 产品实物图
MEMS惯性传感器的技术组件：
· 单晶硅传感器
· 高性能ASIC
· 两个芯片外壳
图3 产品参数表
传感器的核心：单晶硅传感器
硅传感器（每个MEMS的核心）传统上是批量生产或以表面微加工工艺制造。但是，制造商First Sensor现在正在使用新的制造技术：HARMS（高宽比微结构）和AIM（气隙绝缘微结构）工艺。前者使微观结构具有高的高宽比，进而具有极低的交叉轴灵敏度。后者通过使用气隙隔离元件来最小化寄生电容。因此，MEMS可提供比所有传统制造的惯性传感器组合更多的优势。
First Sensor 传感器在测量倾斜度，加速度和振动方面的优势：
· 灵活的MEMS设计：测量范围从1到15 g
· 四个标准传感器：四个不同的测量范围
· 一个传感器测量两个轴：易于使用
· 高宽比微结构：具有极低的交叉轴灵敏度，低损伤，长期稳定的传感器
· 气隙绝缘微结构：寄生电容极小
First Sensor的高精度惯性传感器的当前应用领域：
· 建筑物的状态监测
· 监控石油天然气陆地/海上基础设施，核能，天然气和水力发电厂等
· 监视风能和太阳能发电厂，高压线路，水坝，管道等
· 稳定和校准准系统
· 导航
· 基础设施和运输
