MEMS器件系列

ＭＥＭＳ技术涉及到惯***口、流量器件、微型光学器件、各种执行器、微型机电器件性能模拟、各种制造工艺、封装键合、医用器件、实验表征器件、压力传感器、麦克风以及声学器件等领域。并在军事、民用范围内广泛应用。

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李猛

2019-6-20 16:25:23

MEMS惯性器件、微机械器件

1．MEMS压力传感器
2．MEMS谐振式传感器
3．MEMS加速度传感器
4．MEMS气体分析传感器
5．MEMS化学成分分析传感器
6．MEMS陀螺仪
7．MEMS微马达
8．MEMS喷墨头
9．MEMS硬盘驱动头
10. MEMS微阀
11.MEMS微泵
12.MEMS微喷