俄歇电子能谱仪 (AES)测试

俄歇电子能谱仪 (Auger, AES)是一种利用电子束作为激发源的高灵敏度表面分析(Surface Analysis)技术，样品侦测深度小于10nm。
俄歇电子显微镜(Auger, AES)具有奈米级单点分析以及极表面(＜10nm)的分析能力，搭配机台内离子枪蚀刻(Ar)可得到各层元素在不同深度间的分布比例。
iST宜特检测可以提供：
样品表面元素分析(Surface Analysis)
元素纵深分析 -以Ar+(3kV 1uA)蚀刻样品表面
元素分布分析