穿透式电子显微镜TEM

穿透式电子显微镜TEM
穿透式电子显微镜(Transmission Electron microscopy, TEM)主要是一种使用高能量电子束让超薄的样品成像，影像分辨率可达0.1奈米的原子等级，用以观察材料微结构或晶格缺陷的分析仪器。
可针对材料之显微结构、晶格缺陷(Dislocation)、化学成分进行分析；搭配上EDS、HAADF(ZC)、应力分析等功能，更能得到原子尺度结构与成份信息，解决制程上各种难题。
宜特服务优势：
领先市场的TEM分析能力：已达5奈米制程节点
快速交期：三班制24小时运作
FEI、JEOL等高阶设备，供您选择
样品制备能量：八台业界高阶FEI Helios 660 Dual-beam FIB设备，搭配消除试片损伤层（离子束能量可低至500 eV）的技术，将协助您取得高质量TEM影像。