常用的射频和微波测试仪器有信号发生器、功率计、频谱分析仪和网络分析仪等。
信号发生器分为连续波信号发生器和矢量信号发生器，视测试需要选择。信号发生器的主要指标有相位噪声、输出信号的幅度精度、频谱纯度和频率精度等。
功率计分为通过式和终端式两大类.前者可以在线测量大功率VSWR，但是精度却不如终端式功率计，通过式功率计的精度通常为±5%，而终端式功率计则可以达到±1%的精度。所以通常用终端式功率计来校准信号发生器和频谱分析仪，以提高系统的测试精度。
频谱分析仪的幅度测量精度目前已经可以做到±0.5dB，但即使如此，要准确测量发射机的输出功率还是要由功率计来完成。频谱分析仪的指标很多，其中一项重要的衡量指标就是显示平均噪声电平（DANL)，它决定了频谱分析仪测量微弱信号的能力。
测试环境
测试环境也是影响射频和微波测量准确性的因素，这里所说的测试环境是指测试中的电磁兼容性、测试通路的设计和具体的连接操作这几方面。
测试通路的设计要考虑三个问题：从哪里取被测信号？取多大幅度的信号？取样信号的带宽又是多少？
以蜂窝基站测试为例，对于运营商而言，他们最关心的是频道内和频带内的指标，所以，在每个发射机的输出口，通常都接有一个定向耦合器，这个耦合器必然是窄带的，成本和测试目标决定了这个取样耦合器的设计性能。但是这个测试点对于无线电监测站则并不适用，他们所关心的是从9 kHz到12.75 GHz这么宽的频率范围的传导杂散指标，要做到这一点需要付出不菲的代价。萏先，必须从主馈线中取出测试信号，因为传导杂散就是从这条通路上辐射出去的；其次，要取出这么宽的信号必须采用宽带的定向耦合器或者宽带的衰减器，同样测试电缆和连接器也必须是宽带的。最后，要计算取样信号的幅度大小以适应频谱分析仪的要求，如果需要检测微弱信号，还可能要增加滤波器和低噪声放大器来配合完成测试。
测试系统的连接操作决定了被测器件的位置、各器件之间的隔离、接头的连接力矩等因素。当测试系统中存在大功率时，大功率通路最好远离检测出来的小信号通路，接头的连接最好借助力矩扳手来完成。
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