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LPCVD六英寸石英***清洗使用酸液的配方

LPCVD炉管清洗使用的配方是什么？HF会腐蚀炉管吗？

回帖（2）

從此以後

2022-9-30 07:55:05

需要看是什么工艺的LPCVD，HNO3/HHCL、HF都会用到，HF泡久都会对石英管有一定的腐蚀作用。

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cheng98474

2022-10-12 17:54:57

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