ATMEGA640熔丝位设定

ATMEGA640熔丝位设定CKSEL设定为0011时（内部rc 128KHZ）时，芯片被锁，无法使用，这现象很奇怪，
希望高手能解答一下，什么原因，看看有没有解锁方法，谢谢！！