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扫描式电子显微镜 (SEM)

2018-8-31 15:53:31 7036 失效分析

0 扫描式电子显微镜 (SEM) 扫描式电子显微镜，又扫描电镜（Scanning Electron Microscope, SEM）主要是利用微小聚焦的电子束(Electron Beam)进行样品表面扫描。此电子束(Electron Beam)与样品间的交互作用会激发出各种信号，如: 二次电子、背向散射电子及特性X光等，SEM主要就是收集二次电子的信号来成像。 SEM景深大、分辨率高，放大倍率可达到数十万倍以上，可用来观察样品表面及剖面微结构。如在设备上加装能量分散X光谱仪(Energy Dispersive Spectrometer，简称EDS)时，可对样品表面同时进行微区之材料分析，包括定性、半定量之成分分析以及特定区域之Point、Line Scan、Mapping分析。宜特拥有多台场发射扫描式电子显微镜(扫描电镜，FE-SEM)：Thermo Fisher Verios 460L、Hitachi Regulus 8240、Hitachi SU8220、Hitachi SU8020、Hitachi S-4700、Jeol 6700F，且加装EDS (SDD detector)，可提供高解析之表面结构分析影像，亦可快速进行材料成份之分析。针对各种材料表面微结构观察SEM量测样品尺寸，如膜厚等EDS可针对样品表面，进行微区定性与半定量成份元素分析/ 特定区域之Point、Line Scan、Mapping分析EDS SDD detector可在低电压下，提升Mapping的空间分辨率SEM自动拍照，搭配去层技术de-process，可提供电路逆向工程参考利用低能电子束扫描做被动式电压对比(Passive Voltage Contrast, PVC)，对于异常漏电或接触不良的半导体组件损坏可精准定位 0
2018-8-31 15:53:31　　评论淘帖0 相关推荐 • 扫描电子显微镜sem技术探讨 3502 • 扫描电子显微镜SEM技术分享 3786 • 进口SEM扫描电子显微镜品牌推荐 647 • 扫描电子显微镜SEM电镜结构及原理 1512 • 德国进口SEM扫描电子显微镜的应用 274 • 扫描电子显微镜（SEM ）工作介绍 3745 • 透射电子显微镜和扫描电子显微镜的区别 37127 • 扫描电子显微镜原理和应用 5657 • 电子显微镜 2268 • 蔡司扫描电子显微镜(sem扫描电镜) 2410