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扫描式电子显微镜 (SEM)
扫描式电子显微镜,又扫描电镜(Scanning Electron Microscope, SEM)主要是利用微小聚焦的电子束(Electron Beam)进行样品表面扫描。 此电子束(Electron Beam)与样品间的交互作用会激发出各种信号,如: 二次电子、背向散射电子及特性X光等,SEM主要就是收集二次电子的信号来成像。 SEM景深大、分辨率高,放大倍率可达到数十万倍以上,可用来观察样品表面及剖面微结构。如在设备上加装能量分散X光谱仪(Energy Dispersive Spectrometer, 简称EDS)时,可对样品表面同时进行微区之材料分析,包括定性、半定量之成分分析以及特定区域之Point、Line Scan、Mapping分析。 宜特拥有多台场发射扫描式电子显微镜(扫描电镜,FE-SEM):Thermo Fisher Verios 460L、Hitachi Regulus 8240、Hitachi SU8220、Hitachi SU8020、Hitachi S-4700、Jeol 6700F,且加装EDS (SDD detector),可提供高解析之表面结构分析影像,亦可快速进行材料成份之分析。 针对各种材料表面微结构观察SEM量测样品尺寸,如膜厚等EDS可针对样品表面,进行微区定性与半定量成份元素分析/ 特定区域之Point、Line Scan、Mapping分析EDS SDD detector可在低电压下,提升Mapping的空间分辨率SEM自动拍照,搭配去层技术de-process,可提供电路逆向工程参考利用低能电子束扫描做被动式电压对比(Passive Voltage Contrast, PVC),对于异常漏电或接触不良的半导体组件损坏可精准定位 |
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