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穿透式电子显微镜TEM
穿透式电子显微镜(Transmission Electron microscopy, TEM)主要是一种使用高能量电子束让超薄的样品成像,影像分辨率可达0.1奈米的原子等级,用以观察材料微结构或晶格缺陷的分析仪器。 可针对材料之显微结构、晶格缺陷(Dislocation)、化学成分进行分析;搭配上EDS、HAADF(ZC)、应力分析等功能,更能得到原子尺度结构与成份信息,解决制程上各种难题。 宜特服务优势 : 领先市场的TEM分析能力:已达5奈米制程节点 快速交期:三班制24小时运作 FEI、JEOL等高阶设备,供您选择 样品制备能量:八台业界高阶FEI Helios 660 Dual-beam FIB设备,搭配消除试片损伤层(离子束能量可低至500 eV)的技术,将协助您取得高质量TEM影像。 |
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