上海朝辉压力传感器的设计难点

zhaohui2017

2017-4-28 14:09:47 3534 压力传感器发动机半导体

0 ` 压力传感器是目前应用最为广泛的一种传感器。传统的压力传感器以机械结构型的器件为主,利用压电效应,把弹性体的形变转换成对应压力的大小。随着半导体技术和MEMS技术的发展,压力传感器性能得到大幅提高，不仅体积小、质量轻、功耗小，而且精度、稳定性、可靠性更高，这也大大扩展了它的应用市场。高温压力传感器主要是为了解决高温环境下各种气体、液体压力的测量，广泛应用于锅炉、管道、高温反应容器内的压力、井下压力和各种发动机腔体内的压力、高温油品液位与检测、油井测压等领域压力的测量。在这些领域中，传感器都处于高温环境条件下工作，使得传感器的放大电路工作很容易失效，这也是高温压力传感器设计的难点。最好的解决办法就是将传感器件与放大电路相分离，其中传感器件由MEMS工艺来实现,信号激励与信号处理由计算机来完成。现在,研究比较多的高温压力传感器主要有SOS,SOI,SiO2,Poly2Si等半导体传感器,还有溅射合金薄膜高温压力传感器、高温光纤压力传感器和高温电容式压力传感器等。与传统的压阻式压力传感器相比，半导体电容式压力传感器具有灵敏度高、温度稳定性好、功耗小等优点,而且它只对压力敏感,对应力不敏感,所以,电容式压力传感器在许多领域得到广泛应用。下面介绍一下电容式高温压力传感器制作工艺。硅电容式压力传感器的感应元件是半导体薄膜,它主要由单晶硅和多晶硅制作而成。典型的电容式传感器结构由上下电极、绝缘体和衬底所组成。当薄膜受压力作用时,它会发生形变,这就导致上下电极之间的距离紧跟着发生变化,从而使电容发生变化。但电容的变化与上下电极之间的距离呈非线性关系。所以,要用补偿电路对其进行补偿。由于高温条件对补偿电路的影响很大，所以应当避免补偿电路在高温环境下工作，最好的解决办法就是把传感器件与放大电路分离,通过模型识别来得到所测环境的压力。随着电子电路器件的发展，将来上海朝辉压力传感器抗高温性能会变得更好，这需要广大科技工作者共同努力。 ` 0 本帖子中包含更多资源您需要登录才可以下载或查看，没有帐号？注册 x
2017-4-28 14:09:47　　评论淘帖0 举报相关推荐 • 上海朝辉防爆压力变送器 5389 • 上海朝辉防爆压力变送器系列介绍 6063 • 压力传感器,压力传感器是什么意思 5899 • 压力传感器 4031 • 压力传感器 3072 • 压力传感器 4373 • 压力传感器 12785 • 压力传感器的原理是什么？ 2796 • 压力传感器 4810 • 压力传感器原理 3422 1 个讨论

0 高温压力传感器本帖子中包含更多资源您需要登录才可以下载或查看，没有帐号？注册 x

2017-4-28 14:11:01 评论举报 1^# zhaohui2017