[讨论] 给大家推荐一款高精度晶圆边界和凹槽轮廓尺寸测量系统
2014-9-30 15:30:23   5475 晶圆
收藏 0 收藏 推荐 0 推荐
分享
高精度晶圆边界和凹槽轮廓尺寸测量系统
1.系统外观参考图

2014-09-30_15-13-19.png

(系统整体外观图, 包括FOSB和FOUP自动系统, 洁净室)
2.测量原理

线单元测量的原理是和激光三角测量原理一样,当一束激光以某一角度照射在被测物体表面,由于被测物体表面存在漫射的原因,漫射后的光线可以被CCD相机接收到, 由于物体表面漫射点位置的不同, 通过激光照射点的位置高度不同,所接受散射或反射光线的角度也不同,用CCD相机接收到光斑像的位置,从而计算出被测物体和激光点的距离。当一束光线照射在被测物体的一个面上时候, 旋转被测试的物体或是移动整束激光,即可以测量到被测物体完整的轮廓和外形尺寸.
通过相应的传感器, WATOM系统可以对以下常见的晶圆边界条件进行进行测量, 同时根据设定的条件自动进行判断.

2014-09-30_15-22-09.png
(典型的晶圆边界尺寸测量要求和Notch的尺寸要求, 再次需要说明的是本产品是独一无二的测量技术, WATOM LS系统是目前全世界唯一可以测量Notch凹槽(定位槽)内部尺寸的设备)
3.系统的特点总结
§  无接触测量
§  非破坏性测量
§  零磨损
§  适用于各种材质晶圆的尺寸测量
§  极高的测量速度
§  高精度和重复性, 测量精度可以到1u
§  非常灵活, 适用于各种尺寸晶圆测量
§  全世界唯一能够测量Notch内部尺寸的设备.
§  测量结果自动直观显示, 并可以设定不同尺寸的公差带, 测量结果和公差带有差别时候可以以不同的颜色直接显示提醒出来
§  不合格判定非常容易, 设定各种边界条件后系统自动报警.
§  不同用户管理权限和界面, 以防止误操作和参数修改.
§  基于SEMI M73标准下的晶圆外形计算软件.
§  GEM-SECS 数据接口
§  OCR codereader和Carrier ID reader以方便记录追溯源.
4.系统的基本数据
  
参数
  
标准范围或精度
备注
被测量物体的直径
0 到 300mm
更宽的范围可以根据客户要求来调整
被测量物体的高度
0 到 500mm
更宽的范围可以根据客户要求来调整
传感器距离
20-70mm
  
光学分辨率
1-10um
  
测量精度
1 um
  
测量间隔
20ms-40ms
  
激光单元宽度
8-100 um
  
使用允许的环境亮度
30,000 Ix
  
使用环境温度
0-50 °C
  
EMC电磁兼容
EN50081-1,EN61000-6-1
  
震动
2g/20 到500 Hz
  
冲击
15g/6ms
  
激光防护等级
2(DIN EN60825-1)
  


2014-9-30 15:30:23   评论
2 个讨论
谢谢分享                                                                                          
2015-6-19 08:44:39 评论

举报

高大上的东西啊,进来跟大神学习
2016-9-5 13:34:33 评论

举报

撰写讨论

你正在撰写讨论

如果你是对讨论或其他讨论精选点评或询问,请使用“评论”功能。

高级模式
您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册

发讨论
关闭

站长推荐 上一条 /9 下一条

快速回复 返回顶部 返回列表
-

推荐专区

技术干货集中营

专家问答

方案交易

用户帮助┃咨询与建议┃版主议事

工程师杂谈

项目|工程师创意

招聘|求职}工程师职场

论坛电子赛事

社区活动专版

发烧友活动

-

嵌入式论坛

ARM技术论坛

Android论坛

Linux论坛

单片机/MCU论坛

MSP430技术论坛

FPGA|CPLD|ASIC论坛

STM32/STM8技术论坛

NXP MCU 技术论坛

PIC单片机论坛

DSP论坛

瑞萨单片机论坛

嵌入式系统论坛

-

电源技术论坛

电源技术论坛

无线充电技术

-

硬件设计论坛

PCB设计论坛

电路设计论坛

电子元器件论坛

控制|传感

总线技术|接口技术

-

测试测量论坛

LabVIEW论坛

Matlab论坛

测试测量技术专区

仪器仪表技术专区

-

EDA设计论坛

multisim论坛

PADS技术论坛

Protel|AD|DXP论坛

Allegro论坛

proteus论坛|仿真论坛

EasyEDA-中国人自已的EDA工具

Orcad论坛

-

综合技术与应用

电机控制

智能电网

光电及显示

工程资源中心

汽车电子技术论坛

医疗电子论坛

-

开源硬件

-

无线通信论坛

无线通信技术专区

天线|RF射频|微波|雷达技术

-

IC设计论坛

芯片测试与失效分析

Mixed Signal/SOC[数模混合芯片设计]

Analog/RF IC设计

设计与制造封装测试

-

厂商专区

TI论坛

TI Deyisupport社区

-

检测技术与质量

电磁兼容(EMC)设计与整改

安规知识论坛

检测与认证

-

消费电子论坛

手机技术论坛

平板电脑/mid论坛

音视/视频/机顶盒论坛

-

电子论坛综合区

聚丰众筹官方社区

新人报道区

聚丰供应链

-

论坛服务区

-

供求信息发布

供需广告

电子展览展会专区

芯片求购|供应发布区