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各位同仁好!我最近在芯片清洗上遇到一个问题,自己没办法解决,所以想请教下。一个刚从氮气包装袋拿出来的晶圆片经过去离子水洗过后,在强光照射下或者显微镜下观察,片子表面出现一些颗粒残留,无论怎么洗都洗不掉(酸碱,有机试剂都试过),我想请教下,有没有人遇到过类似的情况,怎样解决的?实验室条件:腐蚀间千级洁净度;去离子水符合标准;芯片清洗属于手洗,未用自动化设备。
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2个回答
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会玩,那小锤子敲一下
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超声波清洗;脱脂棉手动擦拭。
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