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[资料] First Sensor致力于运用先进的模块化技术平台开发和制造定制化MEMS质量流量传感器
2020-7-7 09:15:53  89 MEMS 传感器
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  使用诸多医疗设备时,必须监测控制空气流量、气体流量以及管线压力和治疗压力。这些医疗设备包括呼吸机、麻醉设备、睡眠诊断设备、睡眠呼吸暂停治疗设备(CPAP)、肺量计和制氧机等。呼吸机中的优质传感器测量呼吸流量零点附近的微小流率,同时检测数百l/min的大流率。麻醉设备中的应用要求传感器对麻醉药具有较强抗扰度。在受控CPAP设备中,压力传感器连续监测治疗压力,以此提高治疗的舒适性和质量水平。肺量计利用内置有高效差压传感器的特种呼吸速度描记器测量呼吸流量。
  FIRST SENSOR是呼吸领域医疗产品制造商的战略合作伙伴,致力于开发和制造具有高可靠性的传感器和定制化传感器系统,全方位咨询、开发、生产和服务过程符合医疗设备质量管理体系EN ISO 13485的严苛要求。
  使用质量流量传感器测量流量
  呼吸中的体积流量可使用兼具高灵敏度与快响应速度的热式质量流量传感器直接测量。在此类传感器中,来自加热元件(位于热敏电阻器之间)的空气或气体流量被略微加热。当介质中的温度分布因受质量流影响而发生变化时,传感器会通过监测电阻器上温度差生成一个流量依赖性电压信号。
  First Sensor致力于运用先进的模块化技术平台开发和制造定制化MEMS质量流量传感器。与此同时,还提供全系列包装技术,可实现由单个芯片元件至复杂集成解决方案的开发与制造。First Sensor提供集成化模拟信号或数字信号处理技术、个别传感器校准和所有传感器编程服务。First Sensor还针对呼吸装置的严苛要求,提供具有极快响应时间(《2ms)、极高分辨率和大动态范围(量程范围最高可达300l/min)的特种解决方案。为此,传感器元件可安装在主要流体通路或旁路通道内。First Sensor的定制化流量传感器可轻松集成至终端设备,助力医疗产品制造商缩短开发周期,节约仪器开发过程的成本,提升竞争优势。
  使用差压传感器测量流率
  体积流量的间接测量方式涉及运用流量元件测量压降。当呼吸空气流或气体流流经流体通路道(具有极低流动阻力)中的特设紧窄区域时,例如筛网或积层式流量元件,元件会产生微小压降。传感器以此计算体积流量。高精度传感器能够记录此种低压差,并将之转换为电信号。此类差压传感器被安装在主要流量管路的旁路通道内。
  First Sensor提供全系列针对性传感器系统,适用于测量医疗技术领域的微小差压。该系列传感器系统包括基于流量的差压传感器和配备超薄硅膜的压阻式压力传感器(空气在此类传感器中不发生流动)。
  First Sensor基于流量的LME和LDE差压传感器根据空气的热式质量流量测量原理发挥作用,测量通过集成在传感器芯片上极小流体通路时的气体流量。该系列传感器的创新技术使得具有高灵敏度的超低压力测量成为可能,用于测量从25 Pa(0.25mbar)起的满量程压力范围,兼具偏移量稳定性和超高分辨率等特点。相比其他基于流量的压力传感器,由于流经传感器的气流量极低,LDE系列传感器对粉尘、湿气和长距离连接管路具有极强抗扰度。
  得益于独特的内部补偿技术,First Sensor基于薄膜的HCL与HCL和HCLA系列压阻式压力传感器兼具优异的偏移量稳定性与低位置灵敏等优点。硅MEMS传感器可实现卓越的线性信号/压力特性曲线,用于测量最小自2.5mbar起的满量程压力范围,提供模拟与数字接口

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