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[经验] 吉时利微电子半导体行业方案

2019-9-12 10:19:32  858 吉时利
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吉时利微电子半导体行业方案
电阻测试是表征材料特性的最常用测试手段,在某些应用中,用户需要进行极端微小电阻(Ultra-lowresistance)测试,例如纳米材料,超导材料,继电器开关,低电阻材料、连接器的测试,或者精密的热量测定和研究领域。这些被测件通常具有非常高的导电性和非常小的电阻阻值,对测试连接方案有很大挑战。在进行这类材料和器件的测试过程中,为了最大限度的降低被测设备的自热效应,确保待测件的安全和测量的准确性,通常会使用加流测压的方式,在被测物两端施加可控的微弱精密电流信号,通过欧姆定律测定被测件的电阻阻值。
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上图为融化断裂的纳米管,由于施加电流过大自热引起断裂
在微小电阻测试领域,泰克公司提供的微小电阻测试方案, 使 622X(100fA~100mA输出可调 ) 2400 系列源表,以及纳伏表 2182A(1nV 灵敏度 ) 组合成为完备的测试解决方案,完美解决了在微小电阻测试过程中经常遇到的问题,使电阻测量灵敏度高达 10nW
配合泰克公司方案合作伙伴提供的上位机软件和测试夹具,可以一站式解决用户在仪表与待测件连接,测试结果存储,以及数据分析过程中遇到的繁杂问题,提高测试效率。
方案特点:

● 极高的电阻测试分辨率和大测试量程
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相比其他方法,622X+2182A 方案提供了高达 10nW的电阻测试分辨率,提供了极高的性价比。
● 更好的发热控制
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622X电流源输出的电流分辨率最高可以达到 100fA
可以精确控制加载在待测件两端的电流大小,确保待
测件处在安全状态下
● 更先进的测试方法,消除热电动势
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可以使用 DeltaMode 模式消除,自动触发电流源使信号极性交替变化,电流反向法消除了任何恒定的热电失调,确保测量结果反映真实电压值,大幅度降低测量中的噪声信号
● 交钥匙方案设计,可以提供完整的测试夹具方案和上位机数据采集处理软件
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低阻测试软件界面
系统构成:
系统主要由 622X 高精度电流源 ( 2400 系列高精度源表 )2182A 纳伏表、测试夹具、转接盒和上位机软件构成。
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622X精密电流源可以输出正负电流,编程分辨率高达 100fA6221 可以输出带宽在 1mHz~100KHz的交流和任意电流波形。
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2182A具备 1nV 电压测试分辨率,提供两个独立测试通道,可以与 622X 配合实现 DeltaMode 测试。
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CT-MICR-ADP 转接盒
方案还提供专用转接头配件 CT-MICR-ADP,可以将622X2182A 的各种输出接口 ( 插片或者鳄鱼夹 ) 统一转接为标准的 4 终端 BNC 接口,方便与其他夹具或者探针台进行互连。
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通过 CT-MICR-ADP 连接微小表面贴装器件的夹具上位机测试软件 Cyclestar-MICR 提供了多种测试模式,包括 R-T 功能,电流扫描测试功能,DeltaMode 模式。
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DeltaMode下的软件测试界面
软件的 Pro 高级版还集成了脉冲测试功能,微分电导测试模式和 622X 任意波形输出功能。
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Pro 版本提供的脉冲、微分电导和任意波形输出功能
一体化测试方案可以帮助客户在短时间内搭建起微小电阻测试环境,针对不同物理尺寸,不同连接方式,和不同测试方法都可以快速方便的进行连接测试,并在电脑端直接记录获取数据进行后续分析。
系统结构:
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使用 CT-MICR-ADP转接盒还可以将测试系统与探针台或其他夹具进行连接
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典型方案配置:
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