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[问答] 双束电浆离子束Plasma FIB与双束聚焦离子束Dual Beam FIB的区别?
302 FIB
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P FIB 与DB FIB师出同源,最大差异在离子源与蚀刻效率。
  • DB FIB的离子源Ga+容易附着在样品表面,P FIB使用Xe可减少样品Ga污染问题。
  • P FIB可大范围面积快速执行,蚀刻速率提升20倍。

       




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P FIB 与DB FIB区别.PNG
2019-8-15 15:57:55   评论 分享淘帖 邀请回答

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