发 帖  
原厂入驻New
[资料] 量测晶圆粗糙度有没有不需要破坏整片晶圆的实验室仪器?
2019-8-15 11:43:36  311
分享
    检测晶圆表面粗糙度,最常使用的是AFM(原子力显微镜)。传统的AFM样品规格需小于2cm*2cm,因此在检测时,都需破坏Wafer才能分析,却也造成这片晶圆后续无法进行其他实验分析。
     宜特引进了可直接放置样品最大达12吋晶圆的AFM(型号Bruker Dimension ICON,以下简称AFM ICON),并可利用真空吸引固定样品,提升扫描时的稳定度。宜特也是两岸唯一可提供样品放置尺寸达12吋、不需破片即可进行AFM分析的实验室。
     新型AFM ICON,更另外提供「非接触式」的量测模式,利用原子间的凡德瓦力(van der Waals’ force)侦测表面高低起伏,取得正负10奈米以下的表面粗糙度数值。


0

新型原子力显微镜

新型原子力显微镜

只有小组成员才能发言,加入小组>>

183个成员聚集在这个小组

加入小组

热门话题

创建小组步骤

关闭

站长推荐 上一条 /10 下一条

快速回复 返回顶部 返回列表