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[资料] 简述扫描电镜在电子元器件中的应用
2017-12-6 09:45:42  1897
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扫描电子显微镜是介于透镜和光镜之间的一种微观形貌观察手段,其优点在于可直接利用样品材料表面的物理特性进行微观成像,扫描电子显微镜具有较高的放大倍数且放大倍数连续可调,高分辨率;大景深,二次电子成像富有立体感,适合于粗糙表面的观察和分析;除表面形貌外其背散射电子像还包含有原子序数信息,可用于初步判断试样表面不同成分的分布状况。
伴随着人们对电子元器件的可靠性的关注,解决元器件可能存在的隐患缺陷问题显得尤为重要
SEM由于其优越的性能,会被用来获取元器件微观失效证据。在产品和工艺失效分析中扮演着不可或缺的作用,去化企业可能进行的大规模的分析调查工作。
在科研人员对产品进行失效分析的过程中,通常是采取SEM和其他分析手段相结合的分析方法。如:杭州柘大飞秒检测技术有限公司的科研人员采用的是SEM扫描电镜/EDX成分分析。
杭州柘大飞秒检测技术有限公司立足浙江大学国家大学科技园光与电技术开放实验室,利用飞秒检测技术,通过观测分子、原子、电子、原子核等粒子飞秒级(一千万亿分之一秒)的振动、能级跃迁,开展分析工作。
1411.png
下面是飞秒测试中心的一款用于科研分析检测工作的电子显微镜SEM+EDX
EDX 1.png
冷场发射Hitachi S-4800附带能谱分析仪(EDX)
型号:S-4800   厂商: 日立  冷场发射
附件名称及规格
二次分辨率:1.0nm(15KV);2.0nm(1KV);背散射电子分辨率3.0nm(15KV);加速电压0.5-30KV(0.1KV/步,可变);放大倍率20-800,000;EDX半定量分析(B-U元素);X:0-50mm Y:0-50mmZ:1.5-30mm T:-5-+70°R:360°
功能:固体表面微观形貌观察,选区元素定性、定量分析。
SEM+EDX的结合,使得科研人员不仅可以进行材料结构分析/缺陷观察还可以进行元素组成常规微区分析。最终科研人员通过测试结果推断出器件损坏的原理。为产品升级提供可行方案。

飞秒测试中心:何工   15355004280
联系地址:浙江省杭州市 西湖区  浙大科技园

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