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NM-XYZ-100A-Z15H压电陶瓷定位平台是Z-15H与XY-100A组合,保持了10mm的孔,由Super Invar(超因瓦合金)制成。NM-XYZ-100A-Z15H压电陶瓷定位平台的组合提供了X,Y轴120微米的移动范围以及Z轴16微米的移动范围。
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